中芯國際與中國科學院微電子研究所將進行深度合作，共同進行MEMS傳感器標準工藝開發(fā)，打造完整的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈。
中芯國際(SMIC)日前與中國科學院微電子研究所簽訂了微機電(MEMS)研發(fā)代工平臺合作協(xié)議，共同進行MEMS
傳感器標準工藝開發(fā)，合作打造完整的MEMS產(chǎn)業(yè)鏈。
根據(jù)協(xié)議，中芯國際與中國科學院微電子研究所將進行深度合作，充分發(fā)揮微電子所在MEMS傳感器設計和成套工藝設計方面的優(yōu)勢，以及中芯國際在標準化工藝平臺、產(chǎn)業(yè)地位及市場影響力方面的優(yōu)勢，以MEMS環(huán)境傳感器的開發(fā)為牽引，并結合其他類型MEMS傳感器結構特點，推進傳感器工藝技術的標準化、平臺化和量產(chǎn)化，縮短從設計方案到量產(chǎn)產(chǎn)品的距離，促進MEMS產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。
“中芯國際研發(fā)團隊在傳感器領域持續(xù)開發(fā)新的工藝平臺，引進新客戶，取得了很多新的成績。中芯國際愿意開放平臺，支持商業(yè)化生產(chǎn)、學校和科研院所的研發(fā)。”中芯國際首席執(zhí)行官兼執(zhí)行董事邱慈云博士表示，“中芯國際與微電子所在多個邏輯工藝開發(fā)項目上已有良好的合作基礎，此次我們將繼續(xù)深入合作，共同推進MEMS傳感器的成套標準化工藝開發(fā)，協(xié)助整合并完善MEMS產(chǎn)業(yè)鏈。”
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