近日，ASML開始制造新一代極紫外(EUV)光刻機(jī)，其每臺造價(jià)達(dá)到了1.5億美元，約合人民幣近10億元。ASML早在之前就表示，全新一代EUV光刻機(jī)，也就是NA EUV光刻機(jī)可能會在2023年正式下線商用，其將會用于生產(chǎn)制造3nm、2nm等制程的芯片。
如今，ASML的全新一代EUV光刻機(jī)正式開始生產(chǎn)制造，這意味著新一代EUV光刻機(jī)來了，距離下線商用也更進(jìn)一步。新一代EUV光刻機(jī)技術(shù)更為先進(jìn)，體積自然也更大，大約有一輛公共汽車那么大。整個(gè)機(jī)器包含10萬個(gè)部件和2公里長的電纜。每臺機(jī)器發(fā)貨需要40個(gè)集裝箱、3架貨機(jī)或者20輛卡車。
造好的組件將于2021年底運(yùn)往荷蘭維荷芬，然后在2022年初安裝到新一代極紫外光刻機(jī)的第一臺原型機(jī)中。英特爾可能會使用這種新機(jī)器制造出第一批芯片。英特爾表示，預(yù)計(jì)將在2023年下線第一批芯片。憑借比以往任何機(jī)器所蝕刻的圖案尺寸更小，讓每個(gè)芯片都有數(shù)百億個(gè)元件，這臺機(jī)器在未來幾年所生產(chǎn)的芯片應(yīng)該是史上處理速度最快、效率最高的。
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