據(jù)了解，南大光電承接的“國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)（02專(zhuān)項(xiàng)）”，其項(xiàng)目目標(biāo)是：開(kāi)發(fā)高端集成電路用高端制程光刻膠，建設(shè)一條具備大規(guī)模生產(chǎn)能力、擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系的生產(chǎn)鏈。成立一個(gè)能夠與國(guó)際先進(jìn)芯片原料接軌的技術(shù)與管理人才團(tuán)隊(duì)。負(fù)責(zé)驗(yàn)收南大光電ArF光刻膠的專(zhuān)家組表示：南大光電在ArF干式、浸沒(méi)式系列光刻膠產(chǎn)品上，實(shí)現(xiàn)了從原材料制備到應(yīng)用的自給化，有關(guān)光刻膠生產(chǎn)的配膠、分析檢測(cè)等技術(shù)環(huán)節(jié)，南大光電也全部掌握。
南大光電內(nèi)部形成了由51人組成的ArF光刻膠研發(fā)及生產(chǎn)管理團(tuán)隊(duì)。在光刻膠成品的質(zhì)量把控及良品率調(diào)控上，南大光電成功建成ArF光刻膠質(zhì)量控制平臺(tái)。目前南大光電已具備年產(chǎn)25噸光刻膠成品的能力，其中包括5噸干式ArF光刻膠、20噸浸沒(méi)式ArF光刻膠。截至2021年，南大光電申請(qǐng)專(zhuān)利總計(jì)91項(xiàng)、國(guó)內(nèi)發(fā)明專(zhuān)利有81項(xiàng)、國(guó)際發(fā)明專(zhuān)利4項(xiàng)、實(shí)用新型專(zhuān)利6項(xiàng)（已授權(quán)）、制定團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)3項(xiàng)、研制新產(chǎn)品2項(xiàng)。
ArF光刻膠材料是集成電路制造領(lǐng)域的關(guān)鍵材料，目前我國(guó)在ArF、KrF光刻膠領(lǐng)域中的市場(chǎng)占比較少，全球大多數(shù)的光刻膠市場(chǎng)都被美國(guó)、日本壟斷。作為一家國(guó)產(chǎn)企業(yè)，南大光電在美日半導(dǎo)體高頻打壓我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的背景下完成突破，為其產(chǎn)品增添了一份特殊的含義。
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